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工業固定式真空清掃機電子半導體粉塵處理設備CVPSINOVAC
| 產品型號： |
CVP |
| 品 牌： |
SINOVAC |
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| 所 在 地： |
江蘇無錫 |
| 更新日期： |
2026-07-24 |
| | 品牌：SINOVAC | | 加工定制：是 | | 型號：CVP | |
| | 林格曼黑度：0級 | | 除塵率：99.99 % | | 使用溫度范圍：-40~80 ℃ | |
| | 處理風量：600~10000 m3/h | | 除塵率：99.99 % | | 使用溫度范圍：-40~80 ℃ | |
工業固定式真空清掃機電子半導體粉塵處理設備CVPSINOVAC
工業固定式真空清掃機也稱為集中式真空清掃系統是專為電子半導體行業研發的中央式粉塵治理設備，聚焦晶圓加工、芯片封裝、PCB 制造等場景產生的硅粉、光刻膠粉塵、焊錫微粒、樹脂碎屑等超細、易燃易爆、易帶靜電粉塵的高效收集與凈化需求。設備采用固定式中央主機 + 分布式管網布局，通過高負壓密閉輸送、多級高精度過濾、防靜電與防爆安全設計，實現 24 小時連續穩定運行，徹底杜絕人工清掃與普通除塵設備帶來的二次揚塵、靜電擊穿、粉塵爆炸、潔凈度不達標等痛點，全面滿足 ISO Class 5 級及以上潔凈車間、SEMI 國際半導體設備標準。
CVP固定式真空清掃機核心工作原理
設備基于負壓吸附 + 多級氣固分離技術運行：中央真空機組（無油干式真空泵 / 多級離心風機）產生 - 30kPa~-50kPa 穩定負壓，在全封閉不銹鋼 / 防靜電管網內形成高速氣流（≥20m/s）；車間內粉塵經分布式吸塵口、防靜電軟管與專用吸嘴被吸入管道，隨氣流輸送至主機；經旋風初級分離（截留 95% 大顆粒）→中效過濾→PTFE 覆膜高精度過濾→ULPA 終端過濾四級分離，逐級攔截從粗碎屑到 0.12μm 亞微米級超細粉塵；過濾后潔凈空氣經消音排放，粉塵集中收集于密封集塵桶，可定期安全清理或物料回收；系統配套脈沖反吹自動清灰，維持濾芯吸力與過濾效率穩定。
工業固定式真空清掃機電子半導體粉塵處理設備CVPSINOVAC
